Полностью автоматическое оборудование для склеивания пластин в высоком вакууме.
● Описание функции
Описание функции:
●Полностью автоматическое оборудование для сварки пластин в высоком вакууме используется для упаковки на уровне пластин микросистем, таких как
радиочастотные, инерционные, оптоэлектронные и передачи сигналов, а также для гомогенного и гетерогенного соединения высококачественных МЭМС,
высокопроизводительных логических устройств и т. д. , особенно подходит для низкотемпературного склеивания.
●Дополнительные модули включают модуль выпечки, модуль активации, модуль выравнивания, модуль склеивания и модуль охлаждения, которые
можно гибко выбирать в соответствии с потребностями пользователя.
● Основные технические параметрыОсновные параметры техники:
●Базовый размер: 8/6 дюймов
●Температура склеивания: 550 ℃ (опционально)
●Однородность температуры: ≤ ± 1%
●Давление склеивания: 100 кН
●Предельная степень вакуума: 9×10-6Па
●Точность выравнивания: ≤ 1 мкм
Отзывы
Отзывов пока нет.