Полностью автоматическое оборудование для временного склеивания
● Описание функции
Описание функции:
●Полностью автоматическое оборудование для временного склеивания в основном используется в передовых областях упаковки интегральных схем, таких как
2.5D/3D IC, FoWLP и другие технологические процессы обеспечивают механическую поддержку утончаемых пластин и поддерживают процесс
временного соединения 12-дюймовых пластин. Доступны дополнительные модули склеивания, выравнивания, охлаждения,
предварительного выравнивания и другие модули.
● Основные технические параметрыОсновные параметры техники:
●Базовый размер: 8/12 дюймов
●Температура склеивания: 350 ℃
●Однородность температуры ≤ ±1,5%
●Давление склеивания: 30 кН
●Предельная степень вакуума: 5×10-3Па
●Точность совмещения: выравнивание края ≤ 30 мкм, точное совмещение маркировки ≤ 2 мкм
Отзывы
Отзывов пока нет.